La definizione acque speciali è puramente simbolica e si riferisce a tutte quelle acque che entrano in contatto con il ciclo produttivo e che hanno bisogno di trattamenti speciali allo scopo di ottenere un elevatissimo grado di purezza, quindi con conducibilità elettrica prossima alle condizioni di auto protolisi dell’acqua. Queste tecnologie di trattamento si rendono talvolta necessarie per la pulizia di articoli destinati, ad esempio, alla lavorazione PVD.
